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半導体デバイスにおける界面制御技術 利用可

大貫　仁／共著 -- 内田老鶴圃 -- 2021.4 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 一般 549.8/ｵｵﾇ/一般 121480084 一般 利用可

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タイトル 半導体デバイスにおける界面制御技術
書名ヨミ ハンドウタイ　デバイス　ニ　オケル　カイメン　セイギョ　ギジュツ
副書名 固体界面物性と計算機実験の基礎と応用
著者名 大貫　仁 ／共著, 篠嶋　妥 ／共著, 永野　隆敏 ／共著, 稲見　隆 ／共著  
著者ヨミ オオヌキ，ジン , ササジマ，ヤスシ , ナガノ，タカトシ , イナミ，タカシ  
出版者 内田老鶴圃  
出版年 2021.4
ページ数等 ２４４ｐ
大きさ ２１ｃｍ
一般件名 半導体  
ISBN 4-7536-5050-2
ISBN13桁 978-4-7536-5050-7
定価 ４２００円
問合わせ番号（書誌番号） 1120400833
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8
NDC10版 549.8
著者紹介 【大貫仁】茨城大学名誉教授。新電元工業株式会社参与。１９７４年東北大学大学院工学研究科金属材料工学専攻修士課程修了　工学博士。（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 
著者紹介 【篠嶋妥】茨城大学大学院理工学研究科教授。１９８６年東京大学大学院工学系研究科金属材料工学専攻修士課程修了　博士（工学）。（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　半導体デバイスの製造プロセス
第２章　半導体デバイスにおける材料界面の組織学
第３章　固体物性の基礎
第４章　半導体デバイスにおける材料界面創製のための計算機実験の基礎
第５章　界面組織評価技術
第６章　集積回路における界面創製技術
第７章　パワーデバイスにおける界面技術
第８章　３次元実装における界面技術

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