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薄膜作製応用ハンドブック 利用可

權田　俊一／監修 -- エヌ・ティー・エス -- 2020.2 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 一般 549.8/ｺﾝﾀ/一般 121150363 一般 利用可

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タイトル 薄膜作製応用ハンドブック
書名ヨミ ハクマク　サクセイ　オウヨウ　ハンドブック
著者名 權田　俊一 ／監修, 酒井　忠司 ／編集委員, 田畑　仁 ／編集委員, 八瀬　清志 ／編集委員  
著者ヨミ ゴンダ，シュンイチ , サカイ，タダシ , タバタ，ヒトシ , ヤセ，キヨシ  
出版者 エヌ・ティー・エス  
出版年 2020.2
ページ数等 １４６８，２１ｐ　図版２７枚
大きさ ２７ｃｍ
版表示 ２０２０版
一般注記 欧文タイトル：Ｈａｎｄｂｏｏｋ　ｏｆ　Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ａｎｄ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ
一般件名 薄膜  
ISBN 4-86043-631-8
ISBN13桁 978-4-86043-631-5
定価 ６９０００円
問合わせ番号（書誌番号） 1120322208
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特性と特徴；薄膜材料の電気特性　ほか）
第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）
第３編　薄膜・表面・界面の分析・評価（薄膜・表面・界面の分析評価法；薄膜分析・評価対象各論）
第４編　薄膜技術の応用と展望（電子デバイス；光部品　ほか）

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