資料詳細

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み利用可

佐藤　淳一／著 -- 秀和システム -- 2019.12 -- 549.8

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
鳥取県立	書庫	549.8/ｻﾄｳ/一般Ｈ	121172665	一般	利用可

タイトル	よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
書名ヨミ	ヨク　ワカル　サイシン　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　ノ　キホン　ト　シクミ
副書名	ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
シリーズ名	図解入門：Ｈｏｗ‐ｎｕａｌ
著者名	佐藤　淳一／著
著者ヨミ	サトウ，ジュンイチ
出版者	秀和システム
出版年	2019.12
ページ数等	２６１ｐ
大きさ	２１ｃｍ
版表示	第３版
一般件名	半導体製造装置
ISBN	4-7980-6037-2
ISBN13桁	978-4-7980-6037-8
定価	２０００円
問合わせ番号（書誌番号）	1120307740
NDC8版	549.8
NDC9版	549.8
内容紹介	半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者にもわかるよう解説した半導体製造装置の入門書。製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩がよくわかる。第３版。
著者紹介	京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業株式会社（現、ＴＤＫ）に入社。１９８２年、ソニー株式会社に入社。半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）