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1 件中、 1 件目
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用
利用可
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益 一哉/監修 -- シーエムシー出版 -- 2019.4 -- 549.7
SDI
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所蔵は
1
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0
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
鳥取県立
一般
549.7/イシユ/一般
120891166
一般
利用可
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資料詳細
タイトル
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用
書名ヨミ
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ
副書名
MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
シリーズ名
新材料・新素材シリーズ
著者名
益 一哉
/監修,
年吉 洋
/監修,
町田 克之
/監修
著者ヨミ
マス,カズヤ , トシヨシ,ヒロシ , マチダ,カツユキ
出版者
シーエムシー出版
出版年
2019.4
ページ数等
279p
大きさ
26cm
一般注記
欧文タイトル:Integration Technology for Heterogeneous Advanced Devices:Basics and Applications
一般件名
集積回路
ISBN
4-7813-1364-7
ISBN13桁
978-4-7813-1364-1
定価
6700円
問合わせ番号(書誌番号)
1120260339
NDC8版
549.7
NDC9版
549.7
著者紹介
【益一哉】東京工業大学ソリューション研究機構教授。(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
著者紹介
【年吉洋】東京大学先端科学技術研究センター教授。(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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内容一覧
タイトル
著者名
ページ
第1編 総論編
第2編 プロセス技術編
第3編 回路・デバイス設計技術編
第4編 NEMS技術編
第5編 センサ技術編
第6編 RF‐MEMS技術編
第7編 エネルギーハーベスト技術編
第8編 実装技術編
第9編 解析・評価技術編
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