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ＭＥＭＳデバイス徹底入門 利用可

三田　吉郎／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2018.8 -- 530

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 一般 530/ﾐﾀ/一般 120649077 一般 利用可

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タイトル ＭＥＭＳデバイス徹底入門
書名ヨミ メムス　デバイス　テッテイ　ニュウモン
副書名 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ
著者名 三田　吉郎 ／著  
著者ヨミ ミタ，ヨシオ  
出版者 日刊工業新聞社  
出版年 2018.8
ページ数等 １８８ｐ
大きさ ２１ｃｍ
一般注記 欧文タイトル：Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　ｔｏ　ＭＥＭＳ　ｄｅｖｉｃｅｓ
一般件名 マイクロマシン  
ISBN 4-526-07871-9
ISBN13桁 978-4-526-07871-2
定価 ２２００円
問合わせ番号（書誌番号） 1120212842
NDC8版 530
NDC9版 530
著者紹介 東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻准教授。文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム微細加工プラットフォーム。東京大学ＶＤＥＣ「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」マネージャ。１９７２年広島県呉市生まれ。２０００年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業。博士（工学）。（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　ＭＥＭＳを“つかう”（電子情報機器の用途―どこでもＭＥＭＳの時代；電子情報機器の仕組み―入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路；百聞は一見に如かず１―秋葉原で買ったＭＥＭＳ大集合　ほか）
第２章　ＭＥＭＳを“わかる”（百聞は一見に如かず２―ばね＋マス＝ＭＥＭＳ構造を理解する；ＭＥＭＳが加速度を感じる仕組み―マスとばねとの力の釣り合い；重なり変化で変位を検知―くし歯静電容量による読み出しの原理　ほか）
第３章　ＭＥＭＳを“つくる”（百聞は一見に如かず４―「実験用ＭＥＭＳ」で見るＭＥＭＳ構造と製法；フォトリソグラフィ大研究―ＭＥＭＳは「積んで、リソして、削って」作る；パターンを転写してＭＥＭＳを形作る―Ｄｅｅｐ　ＲＩＥ　ほか）

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