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超並列電子ビーム描画装置の開発 利用可

江刺　正喜／著 -- 東北大学出版会 -- 2018.6 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 一般 549.7/ｴｻｼ/一般 120580123 一般 利用可

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タイトル 超並列電子ビーム描画装置の開発
書名ヨミ チョウヘイレツ　デンシ　ビーム　ビョウガ　ソウチ　ノ　カイハツ
副書名 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して
著者名 江刺　正喜 ／著, 宮口　裕 ／著, 小島　明 ／著, 池上　尚克 ／著, 越田　信義 ／著, 菅田　正徳 ／著, 大井　英之 ／著  
著者ヨミ エサシ，マサヨシ , ミヤグチ，ヒロシ , コジマ，アキラ , イケガミ，ナオカツ , コシダ，ノブヨシ , スガタ，マサノリ , オオイ，ヒデユキ  
出版者 東北大学出版会  
出版年 2018.6
ページ数等 ２２８ｐ
大きさ ２１ｃｍ
一般注記 欧文タイトル：Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　ｏｆ　Ｍａｓｓｉｖｅ　ｐａｒａｌｌｅｌ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｂｅａｍ　Ｗｒｉｔｅ　Ｓｙｓｔｅｍ
一般件名 集積回路 , 電子流  
ISBN 4-86163-296-X
ISBN13桁 978-4-86163-296-9
定価 ３０００円
問合わせ番号（書誌番号） 1120198468
NDC8版 549.7
NDC9版 549.7
著者紹介 【江刺正喜】１９７１年東北大学工学部電子工学科卒。１９７６年同大学院博士課程修了。同年より東北大学工学部助手、１９８１年助教授、１９９０年より教授となり現在（東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ））に至る。半導体センサ、マイクロシステム、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ）の研究に従事。（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 
著者紹介 【宮口裕】１９７９年慶應義塾大学工学研究科電気工学専攻修士課程修了。同年、（株）東芝に入社し、ビデオ機器および関連ＬＳＩの開発。１９８７年日本テキサスインスツルメンツ（株）に入社し、ビデオ信号処理ＤＳＰとそのアプリケーションの開発。２０１１年東北大学マイクロシステム融合研究開発センターにて触覚センサーシステムならびに超並列電子線直接描画装置の開発に従事。２０１７年より東北大学革新的イノベーション研究機構に勤務。（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　マスクレス露光と電子ビーム描画・転写（マスクレス露光（描画）；各種電子ビーム描画・転写）
第２章　並列電子ビーム描画の課題（電子ビーム制御；電子ビームの集束と電子レンズ　ほか）
第３章　並列電子ビーム描画装置用電子源（研究されてきた各種電子源；ナノクリスタルシリコン（ｎｃ‐Ｓｉ）電子源）
第４章　超並列電子ビーム描画（ＭＰＥＢＷ）（システム構成；電子源アレイ　ほか）
第５章　応用と今後の課題（デバイス大量生産への応用；マルチビーム技術の直接描画への応用　ほか）

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