澤 彰仁/著 -- 内田老鶴圃 -- 2017.4 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/サワ/一般H 120206604 一般 利用可

資料詳細

タイトル 酸化物薄膜・接合・超格子
書名ヨミ サンカブツ ハクマク セツゴウ チョウコウシ
副書名 界面物性と電子デバイス応用
シリーズ名 物質・材料テキストシリーズ
著者名 澤 彰仁 /著  
著者ヨミ サワ,アキヒト  
出版者 内田老鶴圃  
出版年 2017.4
ページ数等 324p
大きさ 21cm
一般件名 半導体-ナノテクノロジー , 薄膜  
ISBN 4-7536-2309-2
ISBN13桁 978-4-7536-2309-9
定価 4600円
問合わせ番号(書誌番号) 1120592113
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8
著者紹介 【澤彰仁】1967年鳥取県生まれ 1991年筑波大学大学院理工学研究科修士課程修了 通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究官 2001年筑波大学 博士(工学) (独)産業技術総合研究所主任研究員 2008年同研究グループ長 2015年(国研)産業技術総合研究所副研究部門長(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) 

内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第1章 薄膜作製・評価・微細加工技術
第2章 酸化物薄膜成長
第3章 酸化物ダイオード
第4章 酸化物トンネル接合
第5章 酸化物超格子と2次元電子系
第6章 酸化物電界効果トランジスタ
第7章 酸化物薄膜の不揮発性メモリ応用