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プラズマプロセス技術 利用可

プラズマ・核融合学会／編 -- 森北出版 -- 2017.1 -- 427.6

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 427.6/ﾌﾗｽ/一般Ｈ 120349512 一般 利用可

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タイトル プラズマプロセス技術
書名ヨミ プラズマ　プロセス　ギジュツ
副書名 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者名 プラズマ・核融合学会 ／編  
著者ヨミ プラズマ　カク　ユウゴウ　ガッカイ  
出版者 森北出版  
出版年 2017.1
ページ数等 ２７３ｐ
大きさ ２２ｃｍ
一般件名 プラズマ  
ISBN 4-627-77561-X
ISBN13桁 978-4-627-77561-9
定価 ５６００円
問合わせ番号（書誌番号） 1120084464
NDC8版 427.6
NDC9版 427.6

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　プラズマ技術の基礎
第２章　プラズマナノプロセスの物理的基礎
第３章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
第４章　ナノエッチング技術
第５章　ナノ材料の基板成長と構造制御
第６章　ナノ粒子の気相合成
第７章　計測技術とプロセス解析

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