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薄膜工学 利用可

日本学術振興会薄膜第１３１委員会／編集企画 -- 丸善出版 -- 2016.11 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/ﾆﾎﾝ/一般Ｈ 120297787 一般 利用可

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タイトル 薄膜工学
書名ヨミ ハクマク　コウガク
著者名 日本学術振興会薄膜第１３１委員会 ／編集企画, 金原　粲 ／監修, 吉田　貞史 ／編著, 近藤　高志 ／編著  
著者ヨミ ニホン　ガクジュツ　シンコウカイ , キンバラ，アキラ , ヨシダ，サダフミ , コンドウ，タカシ  
出版者 丸善出版  
出版年 2016.11
ページ数等 ３０２ｐ
大きさ ２１ｃｍ
版表示 第３版
一般件名 薄膜  
ISBN 4-621-30098-9
ISBN13桁 978-4-621-30098-5
定価 ３８００円
問合わせ番号（書誌番号） 1120071870
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8
著者紹介 【金原粲】東京大学名誉教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 
著者紹介 【吉田貞史】産業技術総合研究所　先進パワーエレクトロニクス研究センター（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１　薄膜工学の基礎（薄膜の歴史；薄膜と工学　ほか）
２　薄膜作製法（真空蒸着法・ＭＢＥ法；スパッタリング　ほか）
３　薄膜評価法（膜厚・形状評価；結晶構造評価　ほか）
４　薄膜の機能と応用（半導体薄膜（シリコン系）；半導体薄膜（化合物）　ほか）

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