資料詳細

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み利用可

佐藤　淳一／著 -- 秀和システム -- 2016.8 -- 549.8

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
鳥取県立	書庫	549.8/ｻﾄｳ/一般Ｈ	120118007	一般	利用可

タイトル	よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
書名ヨミ	ヨク　ワカル　サイシン　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　ノ　キホン　ト　シクミ
副書名	製造装置の全体を俯瞰する
シリーズ名	図解入門：Ｈｏｗ‐ｎｕａｌ
著者名	佐藤　淳一／著
著者ヨミ	サトウ，ジュンイチ
出版者	秀和システム
出版年	2016.8
ページ数等	２５９ｐ
大きさ	２１ｃｍ
版表示	第２版
一般件名	半導体製造装置
ISBN	4-7980-4726-0
ISBN13桁	978-4-7980-4726-3
定価	２０００円
問合わせ番号（書誌番号）	1120047774
NDC8版	549.8
NDC9版	549.8
内容紹介	日本エレクトロン、アドバンテスト、ディスコ、ミライアル、ニコンなど、日本には世界に冠たる半導体関連メーカーがたくさんある。半導体の製造工程に沿って、使われている製品技術や製造技術を図解でやさしく説明する。
著者紹介	京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。著書：『ＣＶＤハンドブック』（分担執筆、朝倉書店）ほか（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）