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これからのＭＥＭＳ 利用可

江刺　正喜／共著 -- 森北出版 -- 2016.6 -- 530

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 530/ｴｻｼ/一般Ｈ 119849481 一般 利用可

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タイトル これからのＭＥＭＳ
書名ヨミ コレカラ　ノ　メムス
副書名 ＬＳＩとの融合
著者名 江刺　正喜 ／共著, 小野　崇人 ／共著  
著者ヨミ エサシ　マサヨシ , オノ　タカヒト  
出版者 森北出版  
出版年 2016.6
ページ数等 １５１ｐ
大きさ ２２ｃｍ
一般件名 マイクロマシン , 大規模集積回路  
ISBN 4-627-77551-2
ISBN13桁 978-4-627-77551-0
定価 ２６００円
問合わせ番号（書誌番号） 1120033612
NDC8版 530
NDC9版 530
内容紹介 ＭＥＭＳはシーズからニーズの時代へ。ＭＥＭＳ研究の世界的権威である著者が初めて解説し、大きな反響を呼んだ『はじめてのＭＥＭＳ』に続く待望の続編です。情報処理を担う集積回路にＭＥＭＳを組み合わせるヘテロ集積化技術で、これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり、「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするＭＥＭＳの幅広い応用が期待されています。本書では、そうした応用やニーズ面、開発の実際などをおもに取り上げ、具体的に解説しています。これからＭＥＭＳ技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が、ＭＥＭＳの概要や現状を学ぶのに最適な１冊です。
著者紹介 【江刺正喜】１９４９年　宮城県に生まれる　１９７６年　東北大学大学院博士課程（電子工学専攻）修了　１９９０年　東北大学・教授（精密工学科）　２００７年　東北大学原始分子材料科学高等研究機構・教授　（兼）マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）・センター長（２０１０年）　革新的イノベーション研究機構（ＣＯＩ）リサーチフェロー（２０１５年）　現在に至る　工学博士（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 
著者紹介 【小野崇人】１９６７年　北海道生まれ　１９９６年　東北大学大学院博士課程（精密工学）修了　２００９年　東北大学大学院工学研究科・教授（機械システムデザイン工学専攻）　（兼）マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）・副センター長（２０１０年）　現在に至る　工学博士（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　ヘテロ集積化（ＭＥＭＳとＬＳＩの融合）
第２章　次世代携帯機器
第３章　センサネットワーク・高機能センサ
第４章　光マイクロシステム
第５章　バイオ・医療用マイクロシステム
第６章　製造・検査装置
第７章　高度化と有効活用への道

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