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小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法 利用可

肥後矢吉／編著 -- コロナ社 -- 2015.7 -- 501.4

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 501.4/ﾋｺ/一般Ｈ 119719296 一般 利用可

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タイトル 小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法
書名ヨミ チイサナ　モノ　オ　ツクル　タメノ　ナノ　サブミクロン　ヒョウカホウ
副書名 μｍからｎｍ寸法のものをつくるための材料，物性，形状，機能の評価法
著者名 肥後矢吉 ／編著, 谷川紘 ／共著, 鈴木健一郎 ／共著, 磯野吉正 ／共著, 荻博次 ／共著, 土屋智由 ／共著, 石山千恵美 ／共著  
著者ヨミ ヒゴ，ヤキチ , タニガワ，ヒロシ , スズキ，ケンイチロウ , イソノ，ヨシタダ , オギ，ヒロツグ , ツチヤ，トシユキ , イシヤマ，チエミ  
出版者 コロナ社  
出版年 2015.7
ページ数等 １９６ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
原書名 並列タイトル：Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ　Ｍｅｔｈｏｄｓ　ｆｏｒ　Ｍｉｃｒｏ／ｎａｎｏ　Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ　ａｎｄ　Ｄｅｖｉｃｅｓ
一般件名 ナノマテリアル , マイクロマシン  
ISBN 4-339-04643-4
ISBN13桁 978-4-339-04643-4
定価 ３０００円
問合わせ番号（書誌番号） 1102106942
NDC8版 501.4
NDC9版 501.4
内容紹介 肉眼では見にくい、あるいは見えないほど小さな動く機械をつくるために必要な設計、材料、機能、寸法、組立ての評価方法を国際標準に沿って解説。「シミュレーション」「薄膜の弾性定数の精密計測法」など６章で構成。
著者紹介 【肥後】１９６８年東京工業大学工学部卒。７４年同大学院博士課程修了。同年、同大学精密工学研究所助手。８７年同大学精密工学研究所助教授。９３年同大学精密工学研究所教授。２０１０年同大学名誉教授。同年、立命館大学客員教授。１５年同大学上席客員研究員、現在に至る。 
著者紹介 【谷川】１９６８年東京工業大学理工学部卒。７０年同大学大学院修士課程修了。７０年日本電気（株）中央研究所。２０００年ＮＥＣロジスティクス（株）。０６年（株）ザイキューブ顧問。０７年立命館大学客員教授、現在に至る。 

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１　シミュレーション
２　薄膜の弾性定数の精密計測法
３　微小材料や薄膜の材料強度評価法
４　３次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価
５　動特性計測：微細なものの動的変形と振動評価
６　微細なものの接着・接合強度評価

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