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現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ 利用可

小島啓安／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2015.2 -- 549

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549/ｺｼﾏ/一般Ｈ 119638321 一般 利用可

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タイトル 現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ
書名ヨミ ゲンバ　ノ　スパッタリング　ハクマク　キュー　アンド　エイ
副書名 反応性高速スパッタの実務アドバイス
著者名 小島啓安 ／著  
著者ヨミ コジマ，ヒロヤス  
出版者 日刊工業新聞社  
出版年 2015.2
ページ数等 ４３７ｐ
大きさ ２１ｃｍ
版表示 第２版
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 薄膜  
ISBN 4-526-07366-0
ISBN13桁 978-4-526-07366-3
定価 ３３００円
問合わせ番号（書誌番号） 1102078508
NDC8版 549
NDC9版 549
内容紹介 反応性高速スパッタの実務アドバイス。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１部　基礎編（はじめに；スパッタリングの基礎知識；いろいろなスパッタ法；反応性高速スパッタ法）
第２部　実践編（ターゲットとカソード；アーキング対策とアノード；コンポーネント；膜質）
第３部　応用編（装置；測定；応用；未来へ）

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