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はじめての薄膜作製技術 利用可

草野英二／著 -- 森北出版 -- 2012.11 -- 549

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549/ｸｻﾉ/一般Ｈ 118859028 一般 利用可

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タイトル はじめての薄膜作製技術
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハクマク　サクセイ　ギジュツ
著者名 草野英二 ／著  
著者ヨミ クサノ，エイジ  
出版者 森北出版  
出版年 2012.11
ページ数等 １６０ｐ
大きさ ２２ｃｍ
版表示 第２版
内容細目 文献あり　索引あり
一般注記 初版：工業調査会２００６年刊
一般件名 薄膜  
ISBN 4-627-77452-4
ISBN13桁 978-4-627-77452-0
定価 ２５００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101900256
NDC8版 549
NDC9版 549
内容紹介 薄膜特有の物性／プラズマ物理の基礎／応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　薄膜とは
第２章　薄膜作製技術の基礎
第３章　真空蒸着法
第４章　スパッタリング法
第５章　化学気相成長法
第６章　薄膜の評価技術
第７章　薄膜作製技術の応用

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