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液浸リソグラフィのプロセスと材料 利用可

東木達彦／監修 -- シーエムシー出版 -- 2012.8 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.7/ｴｷｼ/一般Ｈ 118874324 一般 利用可

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タイトル 液浸リソグラフィのプロセスと材料
書名ヨミ エキシン　リソグラフィ　ノ　プロセス　ト　ザイリョウ
シリーズ名 エレクトロニクスシリーズ
著者名 東木達彦 ／監修  
著者ヨミ ヒガシキ，タツヒコ  
出版者 シーエムシー出版  
出版年 2012.8
ページ数等 ２４３ｐ
大きさ ２６ｃｍ
版表示 普及版
一般件名 リソグラフィー  
ISBN 4-7813-0550-4
ISBN13桁 978-4-7813-0550-9
定価 ３８００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101878074
NDC8版 549.7
NDC9版 549.7

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
液浸リソグラフィーとは
液浸露光用塗布現像装置
レチクル技術
液浸リソグラフィの光学系
液浸露光装置の開発
液浸用レジストの開発
液浸用トップコート材料
液浸レジスト材料の評価
含フッ素樹脂のリソグラフィ分野への応用
偏光照明技術
高ＮＡ投影レンズの開発
次世代液浸露光用高屈折率液体の開発
次世代液浸リソグラフィの光学系
３２ｎｍハーフピッチに向けた今後のリソグラフィ展開

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