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半導体ＬＳＩ技術 利用可

牧野博之／著 -- 共立出版 -- 2012.3 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 一般 549.7/ﾏｷﾉ/一般 117655319 一般 利用可

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タイトル 半導体ＬＳＩ技術
書名ヨミ ハンドウタイ　エルエスアイ　ギジュツ
シリーズ名 未来へつなぐデジタルシリーズ
シリーズ巻次 ７
著者名 牧野博之 ／著, 益子洋治 ／著, 山本秀和 ／著  
著者ヨミ マキノ，ヒロシ , マシコ，ヨウジ , ヤマモト，ヒデカズ  
出版者 共立出版  
出版年 2012.3
ページ数等 ２８７ｐ
大きさ ２６ｃｍ
内容細目 索引あり
原書名 並列タイトル：Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ＬＳＩ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
一般件名 ＬＳＩ  
ISBN 4-320-12307-7
ISBN13桁 978-4-320-12307-6
定価 ２８００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101843892
NDC8版 549.7
NDC9版 549.7
内容紹介 半導体技術の発展により、現在のＩＣＴ社会において、ＬＳＩは必要不可欠の存在。本書では、ＬＳＩの歴史から半導体デバイス、ＬＳＩ製造プロセスなどについて、基本的な考えから最近技術までを解説する。
著者紹介 【牧野】１９８３年京都大学理学部卒、三菱電機（株）入社。２００３年（株）ルネサステクノロジ。０８年より大阪工業大学情報科学部コンピュータ科学科准教授。受賞歴：Ｂｅｓｔ　Ｐａｐｅｒ　Ａｗａｒｄ等。ＩＥＥＥ会員、電子情報通信学会員。 
著者紹介 【益子】１９７７年東北大学大学院工学研究科博士前期課程修了、三菱電機（株）入社。２００３年（株）ルネサステクノロジ。０５年より大分大学工学部電気電子工学科教授。ＩＥＥＥ会員、応用物理学会員、ＬＳＩテスティング学会員、日本信頼性学会員。主著「品質・信頼性技術」。 

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
ＬＳＩとはなにか
半導体の物性
半導体デバイス
ＣＭＯＳデジタル回路
ＣＭＯＳ論理設計
ＬＳＩ設計フロー
レイアウト設計
ＬＳＩの性能
ＬＳＩの製造
シリコンウェーハ製造技術
微細パターン形成技術
トランジスタ形成技術
敗戦形成技術
パッケージング技術
計測・検査・評価技術とクリーン化技術

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