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  • 著者
    藤野寛之
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ＲＦ　ＭＥＭＳ技術の応用展開 利用可

大和田邦樹／監修 -- シーエムシー出版 -- 2012.2 -- 547.5

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 547.5/ｱﾙｴ/一般Ｈ 118697252 一般 利用可

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タイトル ＲＦ　ＭＥＭＳ技術の応用展開
書名ヨミ アールエフ　メムス　ギジュツ　ノ　オウヨウ　テンカイ
シリーズ名 ＣＭＣ　ＴＬ
シリーズ巻次 ４１７
著者名 大和田邦樹 ／監修  
著者ヨミ オオワダ，クニキ  
出版者 シーエムシー出版  
出版年 2012.2
ページ数等 ２２４ｐ
大きさ ２１ｃｍ
版表示 普及版
一般注記 初版（２００６年刊）のタイトル：ＲＦ　ＭＥＭＳ技術の最前線
一般件名 無線工学  
ISBN 4-7813-0496-6
ISBN13桁 978-4-7813-0496-0
定価 ３４００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101836245
NDC8版 547.5
NDC9版 547.5

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１　総論（ＭＥＭＳ技術の概要；ＲＦ　ＭＥＭＳ技術の概要）
２　プロセス技術（プロセス基盤技術；ＲＦ　ＭＥＭＳのプロセス技術　ほか）
３　設計技術（ＭＥＭＳ構造体の力学的設計技術；ＭＥＭＳ構造体のＲＦ設計技術）
４　デバイス技術（単結晶シリコンメンブレン型スイッチ；線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ　ほか）
５　応用技術（６０ＧＨｚ帯送・受信フロントエンドモジュール；高効率デュアルバンド増幅器　ほか）

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