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はじめての半導体リソグラフィ技術 利用可

岡崎信次／著 -- 技術評論社 -- 2012.1 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.7/ｵｶｻ/一般Ｈ 118756471 一般 利用可

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タイトル はじめての半導体リソグラフィ技術
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハンドウタイ　リソグラフィ　ギジュツ
副書名 現場の即戦力
著者名 岡崎信次 ／著, 鈴木章義 ／著, 上野巧 ／著  
著者ヨミ オカザキ，シンジ , スズキ，アキヨシ , ウエノ，タクミ  
出版者 技術評論社  
出版年 2012.1
ページ数等 ３０１ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般注記 工業調査会２００３年刊の改訂
一般件名 リソグラフィー  
ISBN 4-7741-4939-X
ISBN13桁 978-4-7741-4939-4
定価 ２５８０円
問合わせ番号（書誌番号） 1101823324
NDC8版 549.7
NDC9版 549.7

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１章　半導体集積回路の発展とリソグラフィ技術
２章　光リソグラフィ技術
３章　電子線リソグラフィ技術
４章　Ｘ線・ＥＵＶリソグラフィ技術
５章　その他のリソグラフィ技術
６章　マスク技術
７章　レジスト技術
８章　計測評価技術
９章　リソグラフィ技術の課題と今後の展望

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