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はじめての半導体ドライエッチング技術 利用可

野尻一男／著 -- 技術評論社 -- 2012.1 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/ﾉｼﾘ/一般Ｈ 118756421 一般 利用可

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タイトル はじめての半導体ドライエッチング技術
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハンドウタイ　ドライ　エッチング　ギジュツ
副書名 現場の即戦力
著者名 野尻一男 ／著  
著者ヨミ ノジリ，カズオ  
出版者 技術評論社  
出版年 2012.1
ページ数等 １６２ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 半導体  
ISBN 4-7741-4940-3
ISBN13桁 978-4-7741-4940-0
定価 ２２８０円
問合わせ番号（書誌番号） 1101823273
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１章　半導体集積回路の発展とドライエッチング技術
２章　ドライエッチングのメカニズム
３章　各種材料のエッチング
４章　ドライエッチング装置
５章　ドライエッチングダメージ
６章　新しいエッチング技術
７章　ドライエッチング技術の今後の課題と展望

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