資料詳細

図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み利用可

佐藤淳一／著 -- 秀和システム -- 2011.10 -- 549.7

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
鳥取県立	書庫	549.7/ｻﾄｳ/一般Ｈ	118455694	一般	利用可

タイトル	図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み
書名ヨミ	ズカイ　ニュウモン　ヨク　ワカル　サイシン　ハンドウタイ　リソグラフィ　ノ　キホン　ト　シクミ
副書名	リソグラフィ技術の核心に迫る
シリーズ名	Ｈｏｗ－ｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ
著者名	佐藤淳一／著
著者ヨミ	サトウ，ジュンイチ
出版者	秀和システム
出版年	2011.10
ページ数等	２７１ｐ
大きさ	２１ｃｍ
内容細目	文献あり　索引あり
一般件名	集積回路 , 半導体
ISBN	4-7980-3063-5
ISBN13桁	978-4-7980-3063-0
定価	２０００円
問合わせ番号（書誌番号）	1101807404
NDC8版	549.7
NDC9版	549.7
内容紹介	プロセスフローを例にして基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。
著者紹介	京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年東京電気化学工業（株）入社。８２年ソニー（株）入社。半導体先端テクノロジーズ創立時に出向等。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員。