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機能性無機膜 利用可

上條榮治／監修 -- シーエムシー出版 -- 2011.9 -- 571.4

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 571.4/ｷﾉｳ/一般Ｈ 118513194 一般 利用可

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タイトル 機能性無機膜
書名ヨミ キノウセイ　ムキマク
副書名 開発技術と応用
シリーズ名 ＣＭＣ　ＴＬ
シリーズ巻次 ４０３
著者名 上條榮治 ／監修  
著者ヨミ カミジョウ，エイジ  
出版者 シーエムシー出版  
出版年 2011.9
ページ数等 ３０５ｐ
大きさ ２１ｃｍ
版表示 普及版
一般注記 初版（２００６年刊）のタイトル：機能性無機膜の製造と応用
一般件名 膜（工学）  
ISBN 4-7813-0359-5
ISBN13桁 978-4-7813-0359-8
定価 ４６００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101802281
NDC8版 571.4
NDC9版 571.4

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法；ＣＶＤ法　ほか）
第２章　無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置；反応性プラズマ蒸着装置　ほか）
第３章　無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造；薄膜の密着力および内部応力　ほか）
第４章　無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用；シリサイド系半導体薄膜の発光　受光デバイスへの応用　ほか）
第５章　最新のトピックス（熱線反射膜と製品；プラスチックフィルムのガスバリア膜　ほか）

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