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はじめての半導体プロセス 利用可

前田和夫／著 -- 技術評論社 -- 2011.8 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/ﾏｴﾀ/一般Ｈ 118618986 一般 利用可

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タイトル はじめての半導体プロセス
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハンドウタイ　プロセス
副書名 現場の即戦力
著者名 前田和夫 ／著  
著者ヨミ マエダ，カズオ  
出版者 技術評論社  
出版年 2011.8
ページ数等 ２９１ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般注記 工業調査会２０００年刊の新装版
一般件名 半導体  
ISBN 4-7741-4749-4
ISBN13桁 978-4-7741-4749-9
定価 ２５８０円
問合わせ番号（書誌番号） 1101794021
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１章　はじめての半導体プロセス
２章　半導体デバイスの種類と構造
３章　半導体プロセスの技術史
４章　半導体プロセスの概要
５章　基本プロセス技術
６章　複合プロセス技術―プロセスインテグレーション
７章　プロセス技術と装置・材料
８章　新しいプロセス技術のニーズ
９章　これからの半導体プロセス

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