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はじめての半導体製造装置 利用可

前田和夫／著 -- 技術評論社 -- 2011.8 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 一般 549.8/ﾏｴﾀ/一般 118618994 一般 利用可

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タイトル はじめての半導体製造装置
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ
副書名 現場の即戦力
著者名 前田和夫 ／著  
著者ヨミ マエダ，カズオ  
出版者 技術評論社  
出版年 2011.8
ページ数等 ２４９ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般注記 工業調査会１９９９年刊の新装版
一般件名 半導体  
ISBN 4-7741-4750-8
ISBN13桁 978-4-7741-4750-5
定価 ２３８０円
問合わせ番号（書誌番号） 1101794020
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
０章　半導体製造装置という世界
１章　半導体デバイスの製造工程
２章　半導体製造装置の技術史
３章　半導体製造装置の種類と役割
４章　半導体製造装置の構成と方式
５章　各種半導体製造装置の概要
６章　半導体製造装置の現場
７章　半導体製造装置の技術要素
８章　半導体製造装置技術のロードマップ
９章　２１世紀の半導体製造装置―半導体製造装置進化論

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