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薄膜工学 利用可

吉田貞史／編著 -- 丸善出版 -- 2011.6 -- 549

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549/ﾖｼﾀ/一般Ｈ 118440779 一般 利用可

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タイトル 薄膜工学
書名ヨミ ハクマク　コウガク
著者名 吉田貞史 ／編著, 近藤高志 ／編著, 金原粲 ／監修  
著者ヨミ ヨシダ，サダフミ , コンドウ，タカシ , キンバラ，アキラ  
出版者 丸善出版  
出版年 2011.6
ページ数等 ２９５ｐ
大きさ ２１ｃｍ
版表示 第２版
内容細目 索引あり
一般注記 初版：丸善２００３年刊
一般件名 薄膜  
ISBN 4-621-08414-3
ISBN13桁 978-4-621-08414-4
定価 ３８００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101788664
NDC8版 549
NDC9版 549
内容紹介 薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、最先端エレクトロニクスに不可欠な基盤技術でもある。本書は、その基本事項を解説するとともに、最近の著しい技術発展を踏まえて改訂を行い、微細加工技術を用いた２次元、３次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術なども取り上げて解説する。本書は、薄膜分野の研究や技術開発に携わる人々の入門書として、また、薄膜の基礎技術の解説書として、格好の書である。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１　薄膜工学の基礎（薄膜の基礎；薄膜のプロセスと応用）
２　薄膜の作製法（真空蒸着；スパッタリング；化学気相成長法）
３　薄膜の評価（形状・構造評価；組成評価・分析；力学的・機械的性質の評価）
４　薄膜の機能と応用（半導体薄膜；光学薄膜と透明導電膜；誘電体薄膜；磁性薄膜；薄膜の化学的性質と機能；有機薄膜）

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