藤原裕之/著 -- 丸善出版 -- 2011.5 -- 425.5

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 425.5/フシワ/一般H 118411365 一般 利用可

資料詳細

タイトル 分光エリプソメトリー
書名ヨミ ブンコウ エリプソメトリー
著者名 藤原裕之 /著  
著者ヨミ フジワラ,ヒロユキ  
出版者 丸善出版  
出版年 2011.5
ページ数等 369p
大きさ 21cm
版表示 第2版
内容細目 文献あり 索引あり
一般注記 初版:丸善2003年刊
一般件名 分光学  
ISBN 4-621-08322-8
ISBN13桁 978-4-621-08322-2
定価 5800円
問合わせ番号(書誌番号) 1101778755
NDC8版 425.5
NDC9版 425.5
内容紹介 「第2版」では最新の動向を踏まえ、特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。
著者紹介 1991年早稲田大学理工学部卒。96年東京工業大学大学院博士課程修了、ペンシルバニア州立大学研究員。98年通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究員。2001年産業技術総合研究所研究員。08年岐阜大学工学部教授。同大学未来型太陽光発電システム研究センター部門長。 

内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第1章 分光エリプソメトリーとは
第2章 光学の基礎
第3章 偏光
第4章 分光エリプソメトリーの原理
第5章 データ解析
第6章 光学異方性の評価
第7章 材料別解析例
第8章 分光エリプソメトリーによる実時間観測