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はじめてのＭＥＭＳ 利用可

江刺正喜／著 -- 森北出版 -- 2011.3 -- 530

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 530/ｴｻｼ/一般Ｈ 118400707 一般 利用可

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タイトル はじめてのＭＥＭＳ
書名ヨミ ハジメテ　ノ　メムス
著者名 江刺正喜 ／著  
著者ヨミ エサシ，マサヨシ  
出版者 森北出版  
出版年 2011.3
ページ数等 ２３０ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 索引あり
一般件名 マイクロマシン  
ISBN 4-627-78491-0
ISBN13桁 978-4-627-78491-8
定価 ２５００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101768071
NDC8版 530
NDC9版 530
内容紹介 最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだＭＥＭＳをわかりやすく解説。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合バランス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）

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