資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

プラズマ／プロセスの原理 利用可

Ｍｉｃｈａｅｌ　Ａ．Ｌｉｅｂｅｒｍａｎ／著 -- 丸善 -- 2010.1 -- 427.6

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 427.6/ﾘﾊﾏ/一般Ｈ 118072050 一般 利用可

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル プラズマ／プロセスの原理
書名ヨミ プラズマ　プロセス　ノ　ゲンリ
著者名 Ｍｉｃｈａｅｌ　Ａ．Ｌｉｅｂｅｒｍａｎ ／著, Ａｌｌａｎ　Ｊ．Ｌｉｃｈｔｅｎｂｅｒｇ ／著, 佐藤久明 ／訳, 堀勝 ／監修  
著者ヨミ リーバーマン，マイケル・Ａ． , リヒテンバーグ，アラン・Ｊ． , サトウ，ヒサアキ , ホリ，マサル  
出版者 丸善  
出版年 2010.1
ページ数等 ６１２ｐ
大きさ ２６ｃｍ
版表示 第２版
内容細目 文献あり　索引あり
一般注記 初版：ＥＤリサーチ社２００１年刊
原書名 Ｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓ　ｏｆ　ｐｌａｓｍａ　ｄｉｓｃｈａｒｇｅｓ　ａｎｄ　ｍａｔｅｒｉａｌｓ　ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ．２ｎｄ　ｅｄ．∥の翻訳
一般件名 プラズマ , 薄膜  
ISBN 4-621-08223-X
ISBN13桁 978-4-621-08223-2
定価 １８０００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101671689
NDC8版 427.6
NDC9版 427.6
内容紹介 半導体製造装置で使用される弱電離、非平衡プラズマに焦点を絞り、プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を、基礎から応用まで解説。得られた解析結果をいかにして適用すればよいか、例題を用いて提示する。
著者紹介 【Ｌｉｅｂｅｒｍａｎ】カリフォルニア大学大学院バークレー校電気工学科教授。プラズマ、プラズマ・プロセス、非線形運動の分野で１７０件以上の論文を発表。 
著者紹介 【Ｌｉｃｈｔｅｎｂｅｒｇ】カリフォルニア大学大学院バークレー校電気工学科教授。高温プラズマ、プラズマ放電、非線形運動の分野で１５０件以上の論文を発表した先駆者。 

ページの先頭へ