資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 利用可

式田光宏／監修 -- シーエムシー出版 -- 2009.10 -- 532

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 532/ﾏｲｸ/一般Ｈ 118112476 一般 利用可

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
書名ヨミ マイクロ　ナノデバイス　ノ　エッチング　ギジュツ
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ
著者名 式田光宏 ／監修, 佐藤一雄 ／監修, 田中浩 ／監修  
著者ヨミ シキダ，ミツヒロ , サトウ，カズオ , タナカ，ヒロシ  
出版者 シーエムシー出版  
出版年 2009.10
ページ数等 ３０１ｐ
大きさ ２７ｃｍ
一般件名 精密加工  
ISBN 4-7813-0167-3
ISBN13桁 978-4-7813-0167-9
定価 ６５０００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101655008
NDC8版 532
NDC9版 532

ページの先頭へ