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    社会教育－大韓民国
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はじめてのＭＥＭＳ 利用可

江刺正喜／著 -- 工業調査会 -- 2009.9 -- 530

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 530/ｴｻｼ/一般Ｈ 118079071 一般 利用可

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タイトル はじめてのＭＥＭＳ
書名ヨミ ハジメテ　ノ　メムス
シリーズ名 ビギナーズブックス
シリーズ巻次 ４８
著者名 江刺正喜 ／著  
著者ヨミ エサシ，マサヨシ  
出版者 工業調査会  
出版年 2009.9
ページ数等 ２３０ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 索引あり
一般件名 マイクロマシン  
ISBN 4-7693-1287-3
ISBN13桁 978-4-7693-1287-1
定価 ２３００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101641384
NDC8版 530
NDC9版 530
内容紹介 ＭＥＭＳ（微小機械電気システム）の応用分野が拡大している。従来の自動車のエアバッグ、情報通信機器への応用から、最近はゲーム機、製造装置、科学機器、医療福祉機器分野での採用も始まっている。本書では、入門者がＭＥＭＳの基礎から製作、要素、応用までを学べるよう解説した。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合プロセス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）

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