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実用薄膜プロセス 利用可

齊藤文良／編 -- エヌ・ティー・エス -- 2009.8 -- 549

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549/ｼﾂﾖ/一般Ｈ 118017378 一般 利用可

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タイトル 実用薄膜プロセス
書名ヨミ ジツヨウ　ウス　バク　プロセス
副書名 機能創製・応用展開
著者名 齊藤文良 ／編, 多賀康訓 ／編  
著者ヨミ サイトウ，フミオ , タガ，ヤスノリ  
出版者 エヌ・ティー・エス  
出版年 2009.8
ページ数等 ８，４１６
大きさ ２７ｃｍ
一般件名 薄膜  
問合わせ番号（書誌番号） 1101640903
NDC8版 549
NDC9版 549

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