資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

半導体ＣＭＰ用語事典 利用可

精密工学会プラナリゼーションＣＭＰとその応用技術専門委員会／編 -- オーム社 -- 2008.10 -- 549.3

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.3/ﾊﾝﾄ/一般Ｈ 117740137 一般 利用可

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル 半導体ＣＭＰ用語事典
書名ヨミ ハンドウタイ　シーエムピー　ヨウゴ　ジテン
著者名 精密工学会プラナリゼーションＣＭＰとその応用技術専門委員会 ／編  
著者ヨミ セイミツ　コウガッカイ  
出版者 オーム社  
出版年 2008.10
ページ数等 ２６２ｐ
大きさ １９ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 集積回路  
ISBN 4-274-20612-2
ISBN13桁 978-4-274-20612-2
定価 ３８００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101541494
NDC8版 549.3
NDC9版 549.3
内容紹介 加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体ＣＭＰ技術・工程に関連する重要用語約４５０語を、図表・データを用いてわかりやすく解説。

ページの先頭へ