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最先端スーパー洗浄技術 利用可

-- 東レリサーチセンター調査研究部 -- 2007.10 -- 576.5

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 一般 576.5/ｻｲｾ/一般 117198600 一般 利用可

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タイトル 最先端スーパー洗浄技術
書名ヨミ サイセンタン　スーパー　センジョウ　ギジュツ
副書名 エレクトロニクスの最新精密洗浄技術
シリーズ名 ＴＲＣ　Ｒ＆Ｄ　ＬＩＢＲＡＲＹ
出版者 東レリサーチセンター調査研究部  
出版年 2007.10
ページ数等 ５，３２３ｐ
大きさ ３０ｃｍ
内容注記 第1章　洗浄プロセスと技術動向と課題．第2章　半導体．第3章　ＦＰＤ．第4章　精密機器．
一般件名 洗浄法  
定価 ７１４００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101474545
NDC8版 576.5
NDC9版 576.5

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