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よくわかる＊真空技術 利用可

アルバック／著 -- 日本実業出版社 -- 2007.9 -- 534.93

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 534.9/ｱﾙﾊ/一般Ｈ 117144603 一般 利用可

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タイトル よくわかる＊真空技術
書名ヨミ ヨク　ワカル＊シンクウ　ギジュツ
シリーズ名 入門ビジュアルテクノロジー
著者名 アルバック ／著  
著者ヨミ アルバック  
出版者 日本実業出版社  
出版年 2007.9
ページ数等 １７３ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 真空技術  
ISBN 4-534-04259-0
定価 １４００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101445545
NDC8版 534.93
NDC9版 534.93
内容紹介 近年、めざましい発展を遂げるエレクトロニクス分野では、真空中で作られる薄膜を利用した製品が数多く使われています。それはこれらのデバイスの超小型化、高機能化・高信頼性、省資源化、低コスト化に対して、薄膜が大きく貢献しているからです。そしてこうした電子・電気・通信分野だけでなく、材料分析や医薬品・食品、エネルギー・環境など、多くの最先端技術において真空は、その発展を支えています。本書は、こうした真空をつくり出して利用する方法・技術をなるべくやさしく紹介しています。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１章　真空とはどのような状態をいうのだろうか（「真空」とは空間に何もない状態ではない；真空を作るには、空間から気体分子を吸い出す　ほか）
２章　真空を利用した生活用品一身のまわりにある真空技術（水分を凍らせて低圧で昇華させる凍結真空乾燥；真空内で沸点の違いを利用する真空蒸留　ほか）
３章　真空のつくり方・計り方（つくる装置　計る装置）（真空をつくる基本的な装置　排気セット；実際の排気セットは主ポンプ・補助ポンプ＋各装置　ほか）
４章　真空を利用した薄膜加工技術（真空を利用した薄膜堆積法にはいろいろな方法がある；ＰＶＤの代表的手法スパッタ成膜法　ほか）
５章　真空産業の将来（真空技術の新しい活用（１）ナノパーティクル；真空技術の新しい活用（２）カーボンナノチューブ　ほか）

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