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絵とき＊「放電技術」基礎のきそ 利用可

小林春洋／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2007.8 -- 427.5

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 427.5/ｺﾊﾔ/一般Ｈ 117050545 一般 利用可

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タイトル 絵とき＊「放電技術」基礎のきそ
書名ヨミ エトキ＊ホウデン　ギジュツ　キソ　ノ　キソ
シリーズ名 Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　ｓｅｒｉｅｓ
著者名 小林春洋 ／著  
著者ヨミ コバヤシ，ハルヒロ  
出版者 日刊工業新聞社  
出版年 2007.8
ページ数等 １７８ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 放電  
ISBN 4-526-05865-3
定価 ２１００円
問合わせ番号（書誌番号） 1101445485
NDC8版 427.5
NDC9版 427.5
内容紹介 ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは；高度情報化社会を支える放電技術　ほか）
第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子；電子の３つの顔　ほか）
第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突；放電開始　ほか）
第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜；プラズマＣＶＤ　ほか）
第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録；超ＬＳＩ　ほか）

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