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トコトンやさしい＊超微細加工の本 利用可

麻蒔立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.1 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/ｱｻﾏ/一般Ｈ 140881131 一般 利用可

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タイトル トコトンやさしい＊超微細加工の本
書名ヨミ トコトン　ヤサシイ＊チョウビサイ　カコウ　ノ　ホン
シリーズ名 Ｂ＆Ｔブックス
著者名 麻蒔立男 ／著  
著者ヨミ アサマキ，タツオ  
出版者 日刊工業新聞社  
出版年 2004.1
ページ数等 １５９ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 半導体 , 精密加工  
ISBN 4-526-05226-4
問合わせ番号（書誌番号） 1101143800
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8
内容紹介 超微細加工は薄型ディスプレイやＬＳＩなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしています。原子をもあやつって、いろんなモノを陰で支える基礎技術です。この本では“トコトンやさしい”解説を心がけ、多くの方に「超微細加工」がどんなものであるか、どんなことができるか、将来どのようになっていくのであろうかをわかっていただけるように努めています。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　ナノテクの中核技術、超微細加工（ナノテクでモノ作りその中核超微細加工；超微細加工の加工法　ほか）
第２章　基板作りの基本（基板になるもの；ガラスの基板を作る　ほか）
第３章　基板にパターンを転写（光を使った露光；電子ビームで露光　ほか）
第４章　薄膜の作り方とその性質（薄膜とその作り方；真空とその単位　ほか）
第５章　さまざまな技術で薄膜を作る（蒸着法のソース；レーザアブレーション　ほか）

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