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ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡 利用可

日本表面科学会／編 -- 丸善 -- 2004.2 -- 549.97

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.9/ﾅﾉﾃ/一般Ｈ 115631858 一般 利用可

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タイトル ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡
書名ヨミ ナノテクノロジー　ノ　タメノ　ソウサ　デンシ　ケンビキョウ
シリーズ名 表面分析技術選書
著者名 日本表面科学会 ／編  
著者ヨミ ニホン　ヒョウメン　カガッカイ  
出版者 丸善  
出版年 2004.2
ページ数等 １８８ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 索引あり
一般件名 電子顕微鏡  
ISBN 4-621-07361-3
問合わせ番号（書誌番号） 1101141973
NDC8版 549.97
NDC9版 549.97
内容紹介 本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新しい切り口からＳＥＭの能力と可能性をまとめたものである。おそらく、少なからぬ方がＳＥＭでもこのようなものが観えるのか、あるいは、このような使い方もあるということに驚かれるであろう。原子レベルの分解能がなくとも、操作性の良さと他の計測法や加工法との複合化のしやすさにより、単なる観察手段にとどまらず、ナノ計測・ナノ加工のツールとして、ますます重要な位置を占め、その応用範囲が広がっていくものと考えられる。物質系のナノサイエンス、ナノテクノロジーを中心とした構成。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１　走査電子顕微鏡の概要（基本構成；装置の種類　ほか）
２　装置と測定法（装置；試料処理　ほか）
３　像形成と分解能（電子と固体との相互作用；像形成と各種コントラスト　ほか）
４　ナノマテリアルの観察（半導体ナノ構造の観察；カーボンナノチューブの観察　ほか）
５　その場観察・複合観察（超高真空ＳＥＭによるその場観察；プローブ顕微鏡との複合化　ほか）

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