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分光エリプソメトリー 利用可

藤原裕之／著 -- 丸善 -- 2003.6 -- 425.5

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 425.5/ﾌｼﾜ/一般Ｈ 115208913 一般 利用可

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タイトル 分光エリプソメトリー
書名ヨミ ブンコウ　エリプソメトリー
著者名 藤原裕之 ／著  
著者ヨミ フジワラ，ヒロユキ  
出版者 丸善  
出版年 2003.6
ページ数等 ２５１ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 分光学  
ISBN 4-621-07253-6
問合わせ番号（書誌番号） 1101092872
NDC8版 425.5
NDC9版 425.5
内容紹介 分光エリプソメトリーをもちいた測定技術は飛躍的な発達を遂げ、同時にコンピューターの発達により測定の自動化が進み、その結果、分光エリプソメトリーは、簡便な高精度測定法としての地位を確立し、現在では半導体から有機薄膜の評価まで広く利用されている。本書は、これらの急速な利用拡大を踏まえ、測定技術およびデータ解析を大学および企業において分光エリプソメトリーを新しく利用し始めた研究者にわかりやすく解説した入門書として最適です。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　分光エリプソメトリーとは
第２章　光学の基礎
第３章　偏光
第４章　分光エリプソメトリーの原理
第５章　データ解析
第６章　材料別解析例
第７章　分光エリプソメトリーによる実時間観測

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