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薄膜工学 利用可

白木靖寛／編著 -- 丸善 -- 2003.3 -- 549

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549/ｼﾗｷ/一般Ｈ 115210025 一般 利用可

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タイトル 薄膜工学
書名ヨミ ハクマク　コウガク
著者名 白木靖寛 ／編著, 吉田貞史 ／編著, 金原粲 ／監修  
著者ヨミ シラキ，ヤスヒロ , ヨシダ，サダフミ , キンバラ，アキラ  
出版者 丸善  
出版年 2003.3
ページ数等 ３１０ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 薄膜  
ISBN 4-621-07143-2
問合わせ番号（書誌番号） 1101068940
NDC8版 549
NDC9版 549
内容紹介 薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。いわゆる情報化社会を可能にしている技術をハード面で支えているのが、薄膜技術である。本書は、その基本事項を解説するとともに、最新技術の紹介も行い、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説する教科書である。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１　総論（薄膜の機能と応用；薄膜形成技術；膜成長過程とエピタキシー；薄膜の歴史）
２　薄膜の作製法（真空蒸着；スパッタリング法；化学気相成長法）
３　薄膜の機能（半導体薄膜；光学薄膜；有機薄膜；誘電体薄膜；磁性薄膜）
４　薄膜の性質と応用（膜厚測定法；薄膜の機械的・力学的性質；薄膜の化学的性質；電子デバイスへの応用）

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