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半導体洗浄と環境適応技術 利用可

工業所有権総合情報館／編 -- 発明協会 -- 2002.6 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/ﾊﾝﾄ/一般Ｈ 115126230 一般 利用可

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タイトル 半導体洗浄と環境適応技術
書名ヨミ ハンドウタイ　センジョウ　ト　カンキョウ　テキオウ　ギジュツ
副書名 ほしい技術が見えてくる！
シリーズ名 特許流通支援チャート
シリーズ巻次 一般　３
著者名 工業所有権総合情報館 ／編  
著者ヨミ コウギョウ　ショユウケン　ソウゴウ　ジョウホウカン  
出版者 発明協会  
出版年 2002.6
ページ数等 １２，２５９ｐ
大きさ ３０ｃｍ
一般件名 半導体 , 洗浄・洗浄剤  
ISBN 4-8271-0681-9
問合わせ番号（書誌番号） 1101049731
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8

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