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真空ハンドブック 利用可

アルバック／編 -- オーム社 -- 2002.7 -- 534.93

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 534.9/ｼﾝｸ/一般Ｈ 115018569 一般 利用可

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タイトル 真空ハンドブック
書名ヨミ シンクウ　ハンドブック
著者名 アルバック ／編  
著者ヨミ アルバック  
出版者 オーム社  
出版年 2002.7
ページ数等 ３３１ｐ
大きさ ２７ｃｍ
版表示 新版
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 真空技術－便覧  
ISBN 4-274-08727-1
問合わせ番号（書誌番号） 1100967749
NDC8版 534.93
NDC9版 534.93
内容紹介 本書は、半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心として編集したものである。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　真空の基礎
第２章　真空用部品
第３章　真空用構成材料
第４章　熱
第５章　低温
第６章　プラズマ・イオンビーム
第７章　表面分析
第８章　薄膜・表面加工
第９章　応用

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