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薄膜化技術 利用可

和佐清孝／著 -- 共立出版 -- 2002.6 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/ﾜｻ/一般Ｈ 115001614 一般 利用可

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タイトル 薄膜化技術
書名ヨミ ハクマクカ　ギジュツ
著者名 和佐清孝 ／著, 早川茂 ／著  
著者ヨミ ワサ，キヨタカ , ハヤカワ，シゲル  
出版者 共立出版  
出版年 2002.6
ページ数等 ３１６ｐ
大きさ ２２ｃｍ
版表示 第３版
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 薄膜  
ISBN 4-320-08613-9
問合わせ番号（書誌番号） 1100959216
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8
内容紹介 薄膜化技術はナノテクノロジーの基礎。思い通りのナノ材料・デバイスが薄膜化技術で作製できる。最新のデータとノウハウを増補。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１部　薄膜とその応用（薄膜材料；薄膜の形成法と評価；スパッタプロセスにおける興味ある現象）
第２部　スパッタの基礎と応用（スパッタの基礎；スパッタ装置と動作特性；化合物薄膜とスパッタ蒸着；薄膜構造の精密制御とナノメータ材料）

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