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シリコンマイクロ加工の基礎 利用可

Ｍ．エルベンスポーク／著 -- シュプリンガー・フェアラーク東京 -- 2001.12 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/ｴﾙﾍ/一般Ｈ 114943743 一般 利用可

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タイトル シリコンマイクロ加工の基礎
書名ヨミ シリコン　マイクロ　カコウ　ノ　キソ
著者名 Ｍ．エルベンスポーク ／著, Ｈ．Ｖ．ヤンセン ／著, 田畑修 ／訳, 佐藤一雄 ／訳  
著者ヨミ エルベンスポーク，ミコ , ヤンセン，アンリ・Ｖ． , タバタ，オサム , サトウ，カズオ  
出版者 シュプリンガー・フェアラーク東京  
出版年 2001.12
ページ数等 ４３１ｐ
大きさ ２７ｃｍ
内容細目 索引あり
原書名 Ｓｉｌｉｃｏｎ　ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ．／の翻訳
一般件名 シリコーン  
ISBN 4-431-70934-7
問合わせ番号（書誌番号） 1100922078
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8
内容紹介 ナノテクノロジー・マイクロテクノロジーは将来性をもっとも有望視されている分野のひとつである。本書はこれらの根幹技術であるシリコンマイクロ加工の基礎を徹底的に解説する。シリコンマイクロ加工技術は現在、プリンタやプロジェクタ等の情報機器からバイオ・医療機器まで幅広い分野で応用され始めている。しかし、わが国ではこれまで応用を扱う書はあっても、基礎技術を詳細に取り上げる書はなかった。本書は基礎技術を網羅してこのようなニーズに応えるものである。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
結晶異方性エッチング
ウェット化学エッチングの物理化学
ウェハ接合技術
応用例
サーフェスマイクロマシニング
シリコンの等方性ウェット化学エッチング
マイクロテクノロジにおけるドライプラズマエッチングの概要
なぜプラズマか？
プラズマエッチングとは何か？
プラズマシステムの構成
コンタクトプラズマエッチング
リモートプタズマエッチング
マイクロ構造のモールディング
可動構造の製作〕

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