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    伊東弘文
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超微細加工の基礎 利用可

麻蒔立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2001.9 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/ｱｻﾏ/一般Ｈ 114707576 一般 利用可

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タイトル 超微細加工の基礎
書名ヨミ チョウビサイ　カコウ　ノ　キソ
副書名 電子デバイスプロセス技術
著者名 麻蒔立男 ／著  
著者ヨミ アサマキ，タツオ  
出版者 日刊工業新聞社  
出版年 2001.9
ページ数等 ２９５ｐ
大きさ ２１ｃｍ
版表示 第２版
内容細目 索引あり
一般件名 半導体 , 精密加工  
ISBN 4-526-04812-7
問合わせ番号（書誌番号） 1100903410
NDC8版 549.8
NDC9版 549.8

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
超微細加工
単結晶とガラスの基板
熱酸化
リソグラフィー（露光・描画技術）
エッチング
ドーピング―熱拡散とイオン注入
薄膜の基本的性質と薄膜作成法の概要
気相成長法・ＣＶＤ・エピタクシー
蒸着とイオンプレーティング
スパッタ
精密めっき
平坦化技術

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