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すぐ使える洗浄技術 利用可

工業調査会／編 -- 工業調査会 -- 2001.8 -- 576.5

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 576.5/ｽｸﾂ/一般Ｈ 114698163 一般 利用可

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タイトル すぐ使える洗浄技術
書名ヨミ スグ　ツカエル　センジョウ　ギジュツ
副書名 装置・洗浄剤の機能と特徴
著者名 工業調査会 ／編  
著者ヨミ コウギョウ　チョウサカイ  
出版者 工業調査会  
出版年 2001.8
ページ数等 ３５８ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 洗浄・洗浄剤  
ISBN 4-7693-4149-0
問合わせ番号（書誌番号） 1100896178
NDC8版 576.5
NDC9版 576.5
内容紹介 本書は、洗浄技術のうち、特に洗浄装置と洗浄剤を中心に解説している。洗浄装置の抱える技術課題や解決方法、装置選定のポイントのほか、代表的な洗浄装置、代替洗浄剤について、その詳細をそれぞれ専門技術者に解説して頂いた。さらに、製造現場ではどのように代替洗浄が行なわれているか、半導体製造工程、液晶製造工程における事例を紹介した。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第１章　洗浄技術の現状（洗浄技術の課題と展望；洗浄装置選定のポイント　ほか）
第２章　エレクトロニクス産業の洗浄技術（半導体洗浄技術の現状；半導体ウェハ洗浄技術の動向　ほか）
第３章　洗浄装置の機能と特徴（真空洗浄装置；水系洗浄装置　ほか）
第４章　洗浄剤の特徴と選定（環境に優しい洗浄剤；水系洗浄剤　ほか）
第５章　資料（洗浄度の指標分類；脱脂洗浄法と洗浄剤との適合性　ほか）

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