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    中国諸民族服飾図鑑
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ウルトラクリーンＵＬＳＩ技術 利用可

大見忠弘／著 -- 培風館 -- 199512 -- 5497

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.7/ｵｵﾐ/一般Ｈ 112616000 一般 利用可

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タイトル ウルトラクリーンＵＬＳＩ技術
書名ヨミ ウルトラ　クリ－ン　ユ－エルエスアイ　ギジュツ
シリーズ名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ
著者名 大見忠弘 ／著  
著者ヨミ オオミ，タダヒロ  
出版者 培風館  
出版年 199512
ページ数等 ３６６ｐ
大きさ ２２ｃｍ
内容細目 各章末：参考文献
一般件名 集積回路  
ISBN 4-563-03615-3
問合わせ番号（書誌番号） 1100454892
NDC8版 5497
内容紹介 本書は、幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者が、クリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説し、併せてその技術によって可能となる新デバイスにまで言及した大変示唆に富む解説書。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
４端子デバイスエレクトロニクス
高精度トータル低温化プロセス
表面・界面のウルトラクリーン化技術
クリーン表面とガス分子の相互作用

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