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はじめての半導体製造装置 利用可

前田和夫／著 -- 工業調査会 -- 199903 -- 5498

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/ﾏｴﾀ/一般Ｈ 113827276 一般 利用可

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タイトル はじめての半導体製造装置
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ
シリーズ名 ビギナーズブックス
著者名 前田和夫 ／著  
著者ヨミ マエダ，カズオ  
出版者 工業調査会  
出版年 199903
ページ数等 ２５４ｐ
大きさ ２１ｃｍ
内容細目 文献あり　索引あり
一般件名 半導体  
ISBN 4-7693-1169-9
問合わせ番号（書誌番号） 1100429095
NDC8版 5498
内容紹介 本書は、半導体製造装置の入門書であるが、単に半導体製造装置の種類や技術を紹介するにとどまらず、半導体市場や技術との絡み、装置としての特殊性といった解説を交えて、読者がより広く半導体製造装置を捉えられるように執筆されている。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
第０章　半導体製造装置という世界
第１章　半導体デバイスの製造工程
第２章　半導体製造装置の技術史
第３章　半導体製造装置の種類と役割
第４章　半導体製造装置の構成と方式
第５章　各種半導体製造装置の概要
第６章　半導体製造装置の現場
第７章　半導体製造装置の技術要素
第８章　半導体製造装置技術のロードマップ
第９章　２１世紀の半導体製造装置―半導体製造装置進化論

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