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超微細加工技術 利用可

徳山巍／著 -- オーム社 -- 199702 -- 5497

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.7/ﾄｸﾔ/一般Ｈ 112931079 一般 利用可

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タイトル 超微細加工技術
書名ヨミ チョウ　ビサイ　カコウ　ギジュツ
シリーズ名 応用物理学シリーズ
著者名 徳山巍 ／著  
著者ヨミ トクヤマ，タカシ  
出版者 オーム社  
出版年 199702
ページ数等 ３０９ｐ
大きさ ２２ｃｍ
内容細目 各章末：参考文献
一般注記 叢書の編者：応用物理学会
一般件名 集積回路  
ISBN 4-274-02332-X
問合わせ番号（書誌番号） 1100323615
NDC8版 5497
内容紹介 各種技術を幅広く網羅！今後の応用・将来動向までを考察する。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
光リソグラフィ技術
電子線リソグラフィ技術
イオンビームリソグラフィ技術
Ｘ線リソグラフィ技術
レジスト材料
エッチング技術
形状シミュレーション技術
超微細加工技術の応用

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