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超高真空 利用可

清水肇／〔ほか〕編著 -- オーム社 -- 199711 -- 53493

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 534.9/ｼﾐｽ/一般Ｈ 113216934 一般 利用可

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タイトル 超高真空
書名ヨミ チョウコウ　シンクウ
シリーズ名 テクノライフ選書
著者名 清水肇 ／〔ほか〕編著  
著者ヨミ シミズ，ハジメ  
出版者 オーム社  
出版年 199711
ページ数等 １４１ｐ
大きさ １９ｃｍ
内容細目 参考文献：ｐ１４１
一般件名 真空技術  
ISBN 4-274-02360-5
問合わせ番号（書誌番号） 1100318251
NDC8版 53493
内容紹介 加速器、核融合といったビッグサイエンスから電子デバイスの開発、表面科学などなどたくさんの研究開発を支える基盤技術―超高真空。本書はいまやエレクトロニクス分野では不可欠なものとして利用されるようになった超高真空の技術と、いまどのような新しい発見がなされているかをわかりやすく解き明かします。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１章　超真空をつくる
２章　超高真空を制御する
３章　超高真空中で駆動する
４章　超高真空中を利用する
５章　超高真空を利用したビックサイエンス

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