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半導体の化学
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逢坂哲弥/〔ほか〕著 -- 朝倉書店 -- 199612 -- 5498
SDI
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所蔵は
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
鳥取県立
書庫
549.8/オウサ/一般H
112747475
一般
利用可
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資料詳細
タイトル
半導体の化学
書名ヨミ
ハンドウタイ ノ カガク
シリーズ名
先端材料のための新化学
著者名
逢坂哲弥
/〔ほか〕著
著者ヨミ
オウサカ,テツヤ
出版者
朝倉書店
出版年
199612
ページ数等
186p
大きさ
21cm
内容細目
各章末:文献
一般注記
叢書の編者:日本化学会
一般件名
半導体
ISBN
4-254-25569-1
問合わせ番号(書誌番号)
1100252536
NDC8版
5498
内容紹介
本書は、半導体材料および関連材料を基礎からプロセスまで、さらには最近注目されているトピックス的な内容をも含めてまとめあげたものである。
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内容一覧
タイトル
著者名
ページ
1 半導体の基礎(結晶;半導体とは;半導体のなかの電子と正孔 ほか)
2 半導体デバイスとその特性(ダイオード;バイポーラトランジスタ;電界効果トランジスタ ほか)
3 半導体集積回路プロセス技術(SiLSIのできるまで(CMOSLSIの製作工程);各種個別技術;フォトレジストとリソグラフィ ほか)
4 半導体材料における最近の話題(高精度エッチング用プラズマ技術の進展;高密度回路実装技術(MCMを中心として);強誘電体薄膜材料と半導体メモリへの応用 ほか)
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