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分子線エピタキシー 利用可

権田俊一／編著 -- 培風館 -- 199411 -- 5498

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
鳥取県立 書庫 549.8/ｺﾝﾀ/一般Ｈ 112430171 一般 利用可

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タイトル 分子線エピタキシー
書名ヨミ ブンシセン　エピタキシ－
シリーズ名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ　１－１０　エレクトロニクス材料・物性・デバイス
著者名 権田俊一 ／編著  
著者ヨミ ゴンダ，シユンイチ  
出版者 培風館  
出版年 199411
ページ数等 ３４９ｐ
大きさ ２２㎝
内容細目 各章末：参考文献
一般件名 半導体  
ISBN 4-563-03610-2
問合わせ番号（書誌番号） 1100203883
NDC8版 5498
内容紹介 分子線エピタキシーは、超精密制御が可能な結晶成長技術として、先端デバイスの研究開発に大きな展開をもたらしている。本書は、その基礎的事項から電子・光・量子効果等各種デバイスへの応用までの最新の成果を盛り込んで詳述した、総合的な解説書である。

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内容一覧

タイトル 著者名 ページ
１　分子線エピタキシー概論
２　固体ソースＭＢＥ―装置と成長過程
３　ガスソースＭＢＥ―装置と成長過程
４　ＭＢＥにおけるその場計測
５　Ｓｉ系ＭＢＥ
６　３‐５族化合物半導体のＭＢＥ
７　２‐６族化合物半導体のＭＢＥ
８　金属・半金属・磁性体のＭＢＥ
９　電子デバイスへの応用―高電子移動度トランジスタ
１０　光デバイスへの応用
１１　量子デバイスへの応用

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